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3D ATI-M Series

자동검사를 위한 M 시리즈

휴비츠 ATI-M 시리즈는 3D 다층 분석을 통해 특정 적층에서
발생한 미세한 결함까지도 한번의 스캔으로 빠르고 정확하게
찾아냅니다.

제품소개

패널 및 필름 검사 장비
디스플레이 필름의 필름 적층 상태 및 두께, 적층면의 결함의 측정이 가능하며, 편광필름의 편광자 내부결함과 편광 기능 측정이 가능합니다. 패널의 표면 및 코팅 측정이 가능합니다.
투명레진 두께 검사 장비
Flexible OLED 공정에서 투명 Resin Dispensing 후 Resin의 전체 높이, 폭, 유효 영역의 높이, 폭 측정이 가능합니다.
3D 글라스 검사 장비
Bended Glass의 내부 표면의 중요 치수(두께, 평탄도, edge의 각도)를 한 번에 측정이 가능합니다.

제품사양

3D ATI-M Series
Model Inspection-Equipment Analysis-Stand Alone
ATI-M1 ATI-S1 ATI-S2 ATI-S3
Spec. &
Optical
Componant
Principle Spectral Domain OCT(SD-OCT)
Light Source Wave Length 840nm
Scan Speed 250K A-scan/sec 68K A-scan/sec
Scan Range Max, X=100mm 10x10mm 10x10mm 3x3mm
Working Distance 188mm 30mm 30mm 19mm
Axial Resolution 7㎛ 7㎛ 3㎛ 3㎛
Lateral Resolution ≥40㎛ ≥15㎛ ≥15㎛ ≥5㎛
Vition Camera - 1/2° CCD 10M
Vision Light - Visible(5000K)-Spot
Vision Fov - 12x12mm 3x3mm
PC Built in Computer Yes
Storage SSD 256GB, HDD 4TB SSD 128GB, HDD 1TB
OS Window 10
Body X-Y Motorized Stage Y=300mm Stroke 100x100mm Stroke 100x85mm Stroke
Z-axis Stage 50mm Stroke 150mm Stroke
Motorized Tilting - Yes
Joystick Control - X-Y-Z Axis, Vision Light, Scanner Tilting
Demensions / Mass 1,240(W)x1,360(D)x2,090(H)mm / 445kg 400(W)x669(D)x940(H)mm / 76kg
Power 220VAC AC 100-240V, 50/60Hz

Dimension